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销售AALBORG气体质量流量计

  产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器
  典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
  设计特点:
  -刚性金属结构
  -流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
  -*大压力500psig(34.5Bar)
  -泄漏率1*10-7氦气
  -NIST系统标定可追踪的证明
  -可倾斜的LCD读表
  -0-5Vdc或4-20mA信号输出
  -电路保护
  -可用作便携式的设备
  -0到**比例显示
  -可配备流量计算机
  精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。
  重复性:±0.5%满量程
  回应时间:实际流速±2%超过满量程25-**一般2秒
  温度系数:0.15%满量程/℃
  压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar)
  气体/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃)
  输出信号:0-5Vdc,**1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
  传感器输出:+12Vdc;*大200Ω。+24Vdc可选
  时间恒量:800ms


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