美国RENISHAW光栅尺

TONiC雷尼绍RENISHAW光栅尺

TONiC是RENISHAW一种超小型光栅产品，可读取各种20 μm栅距

栅尺。其主要特征是IN-TRAC™参考零位，只需轻按按钮即

可自动调相，十分*特。TONiC系统包含读数头、模拟量或

数字量接口，以及直线或者圆形增量式光栅。直线栅尺包括

RGSZ轻薄型镀金栅尺、RELM ZeroMet栅尺、RSLM不锈

钢栅尺和RTLC-S自贴式钢带栅尺，同时也提供导轨安装型

FASTRACK RTLC直线光栅系统。圆光栅包括RESM不锈钢圆

光栅和超高精度REXM圆光栅。

工作原理……

TONiC采用雷尼绍***一代的*特光学滤波装置，与

SiGNUM（*13页）采用的设计类似，但作了三大重要改进。

***，TONiC设计经过优化，信噪比有所提高。光学滤

波系统的这一改进加上精选的**电子器件，大带宽增量信

号可达到10 m/s的***速度，同时也是同类光栅中位置抖动

（噪声）***的。事实上，TONiC接口内部的其他抗噪电子器

件进一步增强了高分辨率型TONiC的抗噪功能，抖动水平*为

0.51 nm RMS。

*二大改进就是开发出了完全集成的参考零位。如图所

示，现在参考零位分离式探测器直接嵌入增量码道线性光电二

*管阵列的中*，从而尽量避免出现扭摆失相。

TONiC的*三个改进是将***动态信号调节功能完全集成

到读数头中，也就是说可以直接从读数头获得经过彻底处理的

信号，该信号通过自动增益控制和自动偏置控制功能进行优化

获得非常低的SDE (±30 nm)。